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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“晶圆清洗设备的卡盘组件及晶圆清洗设备”的专利，授权公告号CN114156224B，申请日期为2021年11月。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1404次，财产线条，此外企业还拥有行政许可340个。
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