国家知识产权局信息显示,重庆芯联微电子有限公司申请一项名为“一种半导体清洗方法”的专利,公开号CN121793673A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,一种半导体清洗方法,包括:步骤S1:提供半导体衬底,半导体衬底表面具有去膜后残留的第一污染物;步骤S2:采用驻极体装置对半导体衬底进行预处理,去除第一污染物;步骤S3:通过RCA标准清洗法对半导体衬底进行湿法清洗;步骤S4:干燥半导体衬底。本申请利用驻极体长久存储电荷的静电吸附原理,去除半导体衬底表面去膜后残留的污染物,再使用RCA标准清洗法进行湿法清洗,提高晶圆表面的清洁度,减少化学品的使用,降低生产成本,提高产品良率。
天眼查资料显示,重庆芯联微电子有限公司,成立于2023年,位于重庆市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本870000万人民币。通过天眼查大数据分析,重庆芯联微电子有限公司参与招投标项目933次,专利信息283条,此外企业还拥有行政许可12个。
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