本技术涉及机械设备,具体地说,是涉及一种污染物清除装置及设置有该污染物清除装置的半导体槽式清洗机。
1、半导体槽式清洗机在对半导体进行清洗后,其槽内清洁液会混杂从半导体上清除出的杂质,而这些杂质在跟随清洁液进入半导体槽式清洗机的清洗循环系统时,会污染清洗循环系统的泵、过滤器、管路、阀件等部件,使得在使用一定时长后需要对泵、过滤器、管路、阀件等部件进行拆卸清洁,甚至需要更换泵、过滤器、管路、阀件等部件。
2、为了延长泵、过滤器、管路、阀件等部件的清洁周期及使用寿命,现有的处理方式是定期对清洁液进行过滤或更换。虽然,定期对清洁液进行过滤处理能够更好的延长清洁液的使用寿命,降低清洁液更换的频率,节约成本,但由于目前对清洁液的过滤处理并没有较好的自动化处理装置,使得对清洁液的过滤处理难度大、效率低。因此,目前常用的处理方式是定期对清洁液进行更换处理,然而这种处理方式存在的缺点是:清洁液循环使用寿命周期短,使得生产成本高。
1、为了解决上述问题,本实用新型的主要目的是提供一种可对半导体槽式清洗机槽内的杂质、污染物进行自动化清除的污染物清除装置。
2、本实用新型的另一目的是提供一种设置有上述污染物清除装置的半导体槽式清洗机。
3、为了实现本实用新型的主要目的,本实用新型提供一种污染物清除装置,其中,包括支架、锁紧单元、驱动单元和过滤单元,锁紧单元安装在支架上,锁紧单元与支架之间形成锁紧容纳位,驱动单元安装在支架上,过滤单元包括连接架和滤芯组件,连接架连接在驱动单元的输出端和滤芯组件之间,滤芯组件位于污染物清除装置的底侧,驱动单元可驱动过滤单元在第一方向往复移动。
4、由上可见,污染物清除装置可用于对半导体槽式清洗机的清洗槽内清洁液混杂的杂质进行清除,使用时,通过支架及锁紧单元将污染物清除装置固定在清洗槽的槽口处,并使得滤芯组件伸入至清洗槽内,以对清洁液中混杂的杂质进行吸附、清除;同时,在驱动单元的驱动下,滤芯组件可在清洗槽内进行往复移动,进而提升对清洁液中杂质的吸附、清除效果。通过对污染物清除装置设计,既能够提升对清洁液中杂质的清除效率,降低现有对清洁液进行过滤处理的难度,又能够降低清洁液更换的频率,从而节约成本。
5、一个优选的方案是,污染物清除装置还包括辅助单元,辅助单元包括气体管道,气体管道位于污染物清除装置的底侧,气体管道上设置有多个出气孔。
6、由上可见,在对清洁液中杂质进行吸附、清除时,可通过气体管道向清洗槽内通入气体,以使清洗槽内清洁液呈翻滚状态,加速清洁液的流动,从而提升滤芯组件对清洁液中杂质的吸附、清除效果。
7、进一步的方案是,气体管道大致呈“凵”形,气体管道具有第一竖段、第二竖段和横段,第一竖段的第一端、第二竖段的第一端均与支架连接,横段连接在第一竖段的第二端和第二竖段的第二端之间,多个出气孔分布在第一竖段、第二竖段和横段上;第一竖段的第一端处具有连接接口,气体管道的数量为两根以上,两根以上的气体管道沿第二方向分布,第二方向分别与第一方向、支架的高度方向两两相互垂直。
8、由上可见,通过对气体管道的设计,能够使得通过气体管道送入清洁液中的气体能够更好地使清洁液进行翻搅,从而进一步提升清洁液的流动性,提升滤芯组件对清洁液中杂质的吸附、清除效果。
10、由上可见,气泵的增设使得污染物清除装置使用时更加的方便,无需用户再额外对气体管道与外部气泵进行对接,既提升了污染物清除装置使用的便捷性,又提升了使用的安全性。
11、另一个优选的方案是,连接架包括容纳盒和两根支臂,容纳盒具有容纳腔,容纳盒上设置有多个通孔,通孔与容纳腔连通,滤芯组件可拆卸地安装在容纳腔内,两根支臂位于容纳盒的相对的两侧上,支臂连接在驱动单元的输出端和容纳盒之间。
12、由上可见,上述设计使得过滤单元的整体结构更加的优化、合理,并保证滤芯组件能够可靠地伸入至清洗槽内对清洁液中的杂质进行吸附、清除,同时也使得滤芯组件具有可更换性,降低过滤单元的使用、维护成本。
13、进一步的方案是,驱动单元包括两个第一驱动机构,两个第一驱动机构与两根支臂一一对应,第一驱动机构包括两根蜗杆、蜗轮和驱动源,两根蜗杆沿支架的高度方向分布,蜗杆平行于第一方向,蜗轮分别两根蜗杆啮合,支臂的一端绕蜗轮的轴心与蜗轮可转动地连接,驱动源可驱动两根蜗杆呈相反旋向转动,使蜗轮在第一方向上往复移动。
14、由上可见,通过对驱动单元的设计,使得驱动单元可平稳驱动过滤单元在清洗槽内移动,以使清洁液中的杂质被竟可能地吸附到滤芯组件内,从而提升清洁液的洁净度。
16、由上可见,转动轴承的设置能够更好的防止过滤单元在蜗轮的带动下被翻转出清洗槽。
17、另一进一步的方案是,驱动单元包括两个第二驱动机构,两个第二驱动机构与两根支臂一一对应,第二驱动机构为直线模组,第二驱动机构的第一滑车可在第一方向上往复移动,第二驱动机构的第一滑车与对应设置的一根支臂连接;或驱动单元包括两个第三驱动机构,两个第三驱动机构与两根支臂一一对应,第三驱动机构包括导轨、第二滑车和伸缩杆,导轨沿第一方向延伸,第二滑车与对应设置的一根支臂连接,伸缩杆可驱动第二滑车沿导轨往复移动,伸缩杆为电动伸缩杆或气缸。
18、由上可见,上述对驱动单元的结构设计,使得驱动单元可平稳驱动过滤单元在清洗槽内移动,以使清洁液中的杂质被竟可能地吸附到滤芯组件内,从而提升清洁液的洁净度,同时也使得过滤单元在清洗槽内的移动速度可调节性高。
19、更进一步的方案是,支架上设置有多个支脚,在支架的高度方向上,支脚向支架的底侧延伸;锁紧单元包括多颗螺栓,多颗螺栓与多个支脚一一对应,螺栓与支脚螺纹连接,多颗螺栓的尾部与支架之间形成锁紧容纳位。
20、由上可见,上述设计使得污染物清除装置与清洗槽之间的拆装更加的方便、易操作,从而更加便于对清洗槽内的清洁液中混杂的杂质进行吸附、清除。
21、为了实现本实用新型的另一目的,本实用新型提供一种半导体槽式清洗机,包括清洗槽,其中,还包括上述的污染物清除装置,清洗槽的至少一部分位于锁紧容纳位内并与锁紧单元连接,滤芯组件位于清洗槽内。
22、由上可见,半导体槽式清洗机通过配置上述的污染物清除装置,使得对清洁液的过滤处理难度小、效率高,从而更好的延长清洁液的使用寿命,降低清洁液更换的频率,以节约成本。
10.半导体槽式清洗机,包括清洗槽,其特征在于,还包括如权利要求1至9任一项所述的污染物清除装置,所述清洗槽的至少一部分位于所述锁紧容纳位内并与所述锁紧单元连接,所述滤芯组件位于所述清洗槽内。
本技术提供一种污染物清除装置及半导体槽式清洗机,污染物清除装置包括支架、锁紧单元、驱动单元和过滤单元,锁紧单元安装在支架上,锁紧单元与支架之间形成锁紧容纳位,驱动单元安装在支架上,过滤单元包括连接架和滤芯组件,连接架连接在驱动单元的输出端和滤芯组件之间,滤芯组件位于污染物清除装置的底侧,驱动单元可驱动过滤单元在第一方向往复移动。半导体槽式清洗机包括上述的污染物清除装置,污染物清除装置可对半导体槽式清洗机槽内的杂质、污染物进行自动化清除。
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主要从事海洋生物医药及海洋污染物的微生物修复研究。 (1)海洋微生物中筛选免疫活性物质,用于抗氧化保健品以及抗肿瘤药物的开发。 (2)开展石油烃降解菌的基因组学、转录组以及代谢组和关键酶基因研究,分析其降解石油烃途径。利用分子生物学和生物信息学技术开展与海洋环境污染治理和修复相关的微生物分子数据