0571-85175569
1、槽式清洗机是半导体机台中的一种清洗设备，可以将晶圆放置到槽式清洗机的化学品槽内进行清洗。槽式清洗机在清洗晶圆前，需要测量化学品槽内清洗液的浓度，确保当前清洗液的浓度符合制程，以保障产品良率稳定。目前大多采用浓度计对化学品槽内清洗液的浓度进行测量。
2、在对槽式清洗机进行日常保养时，需要对浓度计进行定期校正，导致需要将化学品槽内的清洗液排出，并用纯净水对浓度计进行冲洗后再校正。这种校正方式存在步骤较为繁琐、作业时间长、成本高等问题。因此，存在待改进之处。
1、本实用新型的目的在于提供一种槽式清洗机及半导体机台，以便于对浓度计进行校正。
7、取样管，其一端连通于所述循环结构的出水口，另一端连通于所述化学品槽；
13、在本实用新型一实施例中，所述循环结构包括循环泵、加热器以及过滤器，所述循环泵、所述加热器以及所述过滤器依次设于所述循环管上，所述循环泵与外槽连通，所述过滤器与内槽连通。
14、在本实用新型一实施例中，所述循环管的内径在1in～1.5in的范围之间，所述取样管的内径与所述循环管的内径的比值在0.2～0.3的范围之间。
16、第一三通阀，设于所述取样管上，所述第一三通阀的某一进水口与所述循环结构的出水口连通，所述第一三通阀的出水口与所述浓度计的进水口连通；
18、第二三通阀，设于所述取样管上，所述第二三通阀的进水口与所述述浓度计的出水口连通，所述第二三通阀的某一出水口与所述化学品槽连通；以及
20、在本实用新型一实施例中，所述清洗结构还包括第一流量计与第二流量计，所述第一流量计设于所述进水管上，所述第二流量计设于所述出水管上。
21、在本实用新型一实施例中，所述清洗结构还包括控制器，所述控制器电性连接于第一三通阀、第二三通阀、第一流量计以及第二流量计。
25、如上所述，本实用新型提供一种槽式清洗机及半导体机台，意想不到的效果是：通过额外设置一条流道，引入纯净水直接对浓度计进行冲洗，且冲洗后的废水可以排出到废水槽中，无需排入到化学品槽中，可以大大减少工作时间，在一定程度上能够减少时间成本，以提高产量。再者，由于废水无需排入到化学品槽内，能够减少机台保养工作，在一定程度上能够提高槽式清洗机的安全性，且降低槽式清洗机的稳定性风险。最后，由于废水无需排入到化学品槽内，化学品槽内的清洗液能够被再次利用，在一定程度上能够降低成本。
26、当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
3.根据权利要求1所述的槽式清洗机，其特征在于，所述循环结构包括循环泵、加热器以及过滤器，所述循环泵、所述加热器以及所述过滤器依次设于所述循环管上，所述循环泵与外槽连通，所述过滤器与内槽连通。
4.根据权利要求1所述的槽式清洗机，其特征在于，所述循环管的内径在1in～1.5in的范围之间，所述取样管的内径与所述循环管的内径的比值在0.2～0.3的范围之间。
6.根据权利要求5所述的槽式清洗机，其特征在于，所述清洗结构还包括第一流量计与第二流量计，所述第一流量计设于所述进水管上，所述第二流量计设于所述出水管上。
7.根据权利要求6所述的槽式清洗机，其特征在于，所述清洗结构还包括控制器，所述控制器电性连接于第一三通阀、第二三通阀、第一流量计以及第二流量计。
8.根据权利要求5所述的槽式清洗机，其特征在于，所述进水管与纯净水管道连通。
9.根据权利要求5所述的槽式清洗机，其特征在于，所述出水管与废水槽连通。
10.一种半导体机台，其特征在于，包括如权利要求1～9中任意一项所述的槽式清洗机。
本技术提供了一种槽式清洗机及半导体机台，包括：化学品槽；循环管，其两端分别与所述化学品槽连通；循环结构，设于所述循环管上；取样管，其进水口连通于所述循环结构的出水口，出水口连通于所述化学品槽；浓度计，设于所述取样管上；以及清洗结构，设于所述取样管上，且与所述浓度计的两端连通。通过本技术提供的一种槽式清洗机及半导体机台，能够便于对浓度计进行校正。
工程电磁场与磁技术，无线.气动光学成像用于精确制导 2.人工智能方法用于数据处理、预测 3.故障诊断和健康管理
服务热线