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　　国家知识产权局信息显示，上海探跃半导体设备有限公司申请一项名为“机械手臂的一体化真空系统测试方法及真空测试平台”的专利，公开号CN121043185A，申请日期为2025年9月。

　　专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，公开一种机械手臂的一体化真空系统测试方法及真空测试平台，采用具备双级真空系统和多通道比例阀的模块化架构设计的真空测试平台依次进行预安装校准、真空环境模拟、定位精度测试、真空适应性测试和耐久性测试；真空测试平台设置有具备微调卡槽，配合高度计确保待测机械手臂安装位置精确复刻光刻机的实际情况；还设置有多种通用标准化接口，实现不同机型待测机械手臂的快速切换；分析阶段分别对上述三种测试结果进行分析并评估待测机械手臂的性能是否达标，具有对定位精度、真空适应性和耐久性等指标一体化测试的能力，旨在实现机械手臂在模拟光刻机工作环境下的外部预调试，提高调试效率和精度。

　　天眼查资料显示，上海探跃半导体设备有限公司，成立于2019年，位于上海市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海探跃半导体设备有限公司参与招投标项目9次，财产线条，此外企业还拥有行政许可1个。

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