0571-85175569
国家知识产权局信息显示，上海悦匠实业有限公司取得一项名为“一种晶圆预清洁工艺套件”的专利，授权公告号CN224037774U，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种晶圆预清洁工艺套件，包括工艺基座和支撑结构，工艺基座的顶部设置有台阶槽；支撑结构包括多组支撑组件，支撑组件包括升降定位针和定位针底座，定位针底座设置于工艺腔体内的底部，升降定位针从工艺基座的上方穿过工艺基座连接定位针底座，并在顶端凸出工艺基座的顶面；真空升降台连接工艺基座带动工艺基座竖直方向移动，工艺基座位于下方时，升降定位针的顶端伸出工艺基座的顶面以支撑传入工艺腔体中的晶圆，工艺基座位于上方进行预清洁时，升降定位针的顶端相对工艺基座下降至与工艺基座的顶面接触，升降定位针的顶端凸出工艺基座的顶面支撑晶圆，使得晶圆背面与工艺基座顶面形成间隙，晶圆的边缘与台阶槽抵接。
天眼查资料显示，上海悦匠实业有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本3500万人民币。通过天眼查大数据分析，上海悦匠实业有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目31次，财产线条，此外企业还拥有行政许可5个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
19岁女孩挪用自家1700万当“榜一大姐” 亲爹带女儿自首：坐牢才有可能追回钱款
格力回应铝线电机争议：相关工程机已停产，海信称靠多三两铜多500元时代已终结
宁德时代电池产品集中上新：6分钟充满，续航1500公里，钠离子电池今年量产
拒绝“堆料”内卷 华为乾崑死磕安全底线 华为乾崑奕境首款旗舰大六座SUV定名X9
服务热线