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z6尊龙·凯时:创微微电子取得一种压力清洗刷专利保证待清洗的晶圆表面干净洁净度高不会对后续的工艺造成不利影响

发布时间:2026-04-22

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  国家知识产权局信息显示,创微微电子(常州)有限公司取得一项名为“一种压力清洗刷”的专利,授权公告号CN223598676U,申请日期为2024年11月。专利摘要显示,本实用新型公开了一种压力清洗刷,包括:基座、下压装置、安装座、连接杆和驱动装置;所述安装座滑动安装在所述基座上,所述下压装置在所述基座上可带动安装座做升降运动;所述连接杆的一端贯穿所述安装座并与其转动连接,所述连接杆的另一端连接有刷头;位于所述安装座内的连接杆上套设有第一转动环;所述驱动装置安装在所述基座上,其输出端驱动所述第一转动环带动连接杆及刷头一同转动。这样下压装置便不会与连接杆直接接触以发生磨损,延长连接杆的使用寿命;且下压装置与连接杆之间不会发生因相互磨损产生微粒并掉落在待清洗的晶圆表面的情况,保证待清洗的晶圆表面清洗干净,洁净度高,不会对后续的清洗工艺造成不利影响。

  天眼查资料显示,创微微电子(常州)有限公司,成立于2020年,位于常州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,创微微电子(常州)有限公司参与招投标项目22次,专利信息79条,此外企业还拥有行政许可7个。

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