0571-85175569
国家知识产权局信息显示，深圳市上喜绿色能源科技有限公司申请一项名为“晶圆清洗工艺中超声波参数自适应调节与清洗评估方法”的专利，公开号CN121487526A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明提供晶圆清洗工艺中超声波参数自适应调节与清洗评估方法，涉及半导体制造技术领域，包括通过采集晶圆表面温度分布和腔体振动响应数据，计算声场能量分布；基于温度梯度和声强梯度计算清洗液微流场分布，建立空化气泡溃灭特征矩阵；通过特征矩阵的奇异值分解识别清洗死区，并控制压电换能器产生聚焦超声波；同时利用等离子体共振传感器监测表面吸附特性变化，评估清洁度。本发明实现了超声波清洗参数的实时自适应调节，提高了清洗均匀性和效率。
天眼查资料显示，深圳市上喜绿色能源科技有限公司，成立于2008年，位于深圳市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本5088万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市上喜绿色能源科技有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目88次，财产线条，此外企业还拥有行政许可20个。
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