尊龙(凯时中国)官方网站

长飞先进申请去除晶圆片表面Hg残留方法专利实现高均匀性、低污染的清洗效果-尊龙凯时官方网站

长飞先进申请去除晶圆片表面Hg残留方法专利实现高均匀性、低污染的清洗效果

发布时间:2026-04-17

点击量:

  国家知识产权局信息显示,安徽长飞先进半导体股份有限公司申请一项名为“一种去除晶圆片表面Hg残留的方法”的专利,公开号CN121865870A,申请日期为2026年1月。

  专利摘要显示,本发明涉及一种去除晶圆片表面Hg残留的方法,所述方法包括以下步骤:MCV测试后的晶圆片浸入SPM溶液中进行第一次清洗;将第一次清洗后的晶圆片采用逐片方式放入SC1溶液中进行兆声清洗,得到清洗后的晶圆片。本发明采用逐片(一次一片)对MCV测试后的晶圆进行兆声清洗,能够有效去除Hg残留和清除其他杂质的同时避免批次间的交叉污染,而现有技术中常采用的槽式浸泡精度较弱,清洗后在晶圆片表面易残留杂质,清洗不干净且易导致交叉污染;本发明的清洗方法实现高均匀性、低污染的清洗效果,适用于先进制程。

  天眼查资料显示,安徽长飞先进半导体股份有限公司,成立于2018年,位于芜湖市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本31162.1464万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽长飞先进半导体股份有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目31次,财产线条,此外企业还拥有行政许可14个。

  声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

  特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

  怎么又装上了?朝鲜人民军海军“崔贤”号装了一大堆双联装高射机枪,这到底是要干啥?

  雷军将全程参与新一代小米SU7京沪续航直播:15小时,“1265公里中间只充一次电”

  人生就是博

  华为鸿蒙HarmonyOS 6.0.0.328 SP58新版本未公布特性抢先看

  一键沉浸:华为鸿蒙HarmonyOS 6.0.0.328 SP58实装新版游戏助手

  华为鸿蒙HarmonyOS 6.0.0.328 SP58版本开推,新增多项实用功能

  人生就是博

在线客服
服务热线

服务热线

0571-85175569

微信咨询
微信二维码
返回顶部
×微信二维码

截屏,微信识别二维码

微信号:13956963330(手机同号)

(点击微信号复制,添加好友)

打开微信

微信号已复制,请打开微信添加咨询详情!