上下有各7排喷淋嘴。 ➢ 滚刷上、下间距可调。 ➢ 设有一个水箱,供水管安装有
80mm左右。 二流体二上面4排下面3排喷淋管。 上下各1个二流体喷淋体,二流体喷体上进入处有5个孔,分别通入CDA和DI Water ,喷口 处为0.1mm液刀口。
最终喷淋介绍: (1)液刀的作用是把玻璃表面上多余的水切出,液刀在喷淋的末端。 (2)喷淋装置上面6排喷嘴,下面有5排喷嘴。 (3)10#水箱供水,供水管道安装有0.2μm过滤器,水箱安装有加热装置,
二流体清洗介绍: (1)二流体组成: 洁净压缩空气(CDA)和纯水(DI Water)的混合体。 (2)CDA过滤器0.01um、DI Water过滤器1.2um。 (3)上下各1个二流体喷淋体,长度830mm,二流体喷体上进入处有5个
孔,分别通入CDA和DI Water ,喷口处为0.1mm液刀口。 (4)玻璃通过二流体清洗后,有喷淋管对玻璃进行清洗,上面有4排喷水
该区和输入传送带一样设有气缸定位装置,另一个功能是 设有离子风棒去除玻璃表面的静电,离子风泵采用的是放电 针放电,正负两种电荷交替使用在玻璃表面中和静电离子, 达到去静电的目的。离子风泵采用洁净压缩空气供气。
预湿机的作用:①对玻璃进行预湿;②对研磨后的玻璃进行抽检;③投 入玻璃进行二次清洗。
(1)传送带设有定位装置,两侧各1个汽缸定位玻璃。 (2)滚轮的材质是尼龙,挡边轮材质是UPE。 (3)设有2组滚刷,上下各2排,滚刷转动方向与玻璃前进方向相反。 (4)传送带出口处设有1组海绵滚筒,抹干玻璃上的水份。 (5)喷淋用的是6#水箱的水,水经10μm过滤器进行过滤。 ➢ 工作原理:玻璃进入输送传送带,上下各7排喷淋系统对玻璃进行初始清洗, 三菱的变频电机驱动轴上的斜齿轮组来带动传送带,当磁性传感器检查到玻璃通
(1)水平传送部分:通过电机减速机带动大滚轮转动,水平传送与预湿 机连接处设有小滚轮过渡。
(2)翻转部分:通过左右端2个汽缸带动齿条直线运动来带动齿轮转动, 从而带动机架翻转73°,(翻转架子上装有2个光电传感器检测玻 璃),架子下部设有2个缓冲器。
➢ 目的:基板经过切割裂片后,在玻璃表面容易残留 玻璃碎屑,清洗的主要目的是在短时间内将玻璃碎 屑冲掉,避免玻璃屑重新附着在基板上,造成玻璃 异物,不容易去除。
➢ 环境要求:①环境温度:222℃,相对湿度: 45%10%;②洁净等级:5000级,与相邻加工区保 持微正压,与相邻检查区保持5Pa微负压。
超声波介绍: (1)有7个振板,每个振板共有16个振子,每个振子功率50W。 (2)超声波发生的频率为40-90KHZ。频率、功率可调。 (3)水箱有两个一用一备(4#、5#水箱)。 (4)水箱有加热装置、浓度、温度传感器。 (5)水箱中有4个浮球式传感器检测液位。
0.45μm过滤器,装有4个光电液位传感器。 ➢ 清洗水是利用二流体2使用后的废水,8号水箱供水。 ➢ 滚刷转速:400~500r/min。
二流体组成: 洁净压缩空气(CDA)和纯水(DI Water)的混合体,上下二流体喷嘴间距
有温度传感器,装有4个光电液位传感器。 (4)清洗是18MΩ超纯水,温度要求40-45℃。 (5)用过的超纯水经过滤后供二流体2使用。
风刀干燥介绍: (1)有两组风刀,风刀结构类似于液刀,上下各有一把风刀,刀风口0.1mm; (2)风刀角可调,每片上都有四个进风口,风刀与水平面的夹角20。 (3)为了避免风刀吹出的高速气流在该区产生涡流,在区域上安装了EFU高
➢ 设备结构: 盘刷区共有4组盘刷,盘刷的间距和转速都可以调节。 盘刷区还有喷淋装置,喷淋装置上的喷嘴方向可以调节,
上有压力表和调节阀门,还有观测流量计。 盘刷清洗水需加入清洗剂,由2,3#水箱(一用一备)提
供,由于加入了清洗剂废水不能被其他区域利用,只能自 身循环利用,且水需要加热到40~45℃。清洗剂:PKLCG211,水的PH值为12~14。
➢ 刷毛:Φ=0.1mm,尼龙材质。 ➢ 上下盘刷:交叉1~2mm。 ➢ 升降调节方式:锥齿轮螺旋升降前后同步。 ➢ 驱动方式:交流变频电机(滚轮驱动),盘刷轴驱动
➢ 用水要求:①18MΩ(电导率)超纯水; ②TOC(有机碳总和):100PPb
器传送带开始减速,当玻璃经过中间一侧的磁性 传感器时,传送滚轮停止,同时气缸带动机架上 升20mm停止,垂直传送滚轮开始运行,此传感 器检测到玻璃离开后,机架开始下降,回到原位, 水平传送带又开始水平输送玻璃。
(6)强碱性清洗剂,PH值12-14。 (7)1个清洗剂箱。 注:玻璃是浸泡在水中进行传送和清洗的。
注:水槽内有两 个液位器,以保 证水的液面超过 玻璃的表面,玻 璃浸泡在水中清 洗B面。
由超声波发生器发出的高频振荡信号,通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介 质—清洗溶剂中,超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射,使液体流动而产生数以万 计的直径为50μm-500μm的微小气泡,这些气泡在超声波纵向传播的负压区形成、生 长,而在正压区迅速闭合,在这种被称之为空穴作用的过程中,气泡闭合可形成几百 度的高温和超过1000个气压的瞬间高压,连续不断产生瞬间高压就像一连串小“爆炸” 不断地冲击物体表面,使物体的表面及缝隙中的污垢迅速剥落,从而达到物件表面净 化的目的。