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等离子清洗机通过电离气体产生等离子体，这些等离子体中含有高速运动的电子、离子、自由基等活性粒子。这些活性粒子在真空腔体中通过射频电源产生高能量的无序等离子体，然后通过等离子体轰击被清洗产品的表面，以达到清洗和活化表面的目的。
激活键能，交联作用：等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。
对材料表面的刻蚀作用：等离子清洗机中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面，提高固体表面的润湿性能。
形成新的官能团：如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。
等离子清洗机广泛应用于玻璃、金属、线缆、橡胶、塑料等材料的表面处理，能够去除静电、活化表面、提高表面附着力等。其优势包括：
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