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国家知识产权局信息显示，安徽万维克林精密装备有限公司申请一项名为“一种晶圆蚀刻清洗后干燥设备”的专利，公开号CN121025757A，申请日期为2025年9月。专利摘要显示，本发明涉及晶圆干燥技术领域，具体涉及一种晶圆蚀刻清洗后干燥设备，包括外壳单元以及干燥单元；所述外壳单元包括干燥箱，所述干燥箱内设置有隔板；所述干燥单元包括转动安装在所述隔板上转动盘，所述转动盘与所述隔板之间固定安装有齿环，所述转动盘上设置有五个转动轴，所述转动轴底部固定安装有齿轮，所述转动轴顶部设置有夹持环。相较于现有技术，本申请通过夹持环的转动作用使晶圆相对夹持环转动，使晶圆各部位均能充分暴露在干燥气体中，确保干燥的全面性和充分性，而且夹持环驱动晶圆转动实现了对转速的成倍放大，有效提高了甩干转速，进而显著提升了干燥效率，降低了电机的工作负荷，减少电机因长期高负荷运转而产生的磨损和故障风险。
天眼查资料显示，安徽万维克林精密装备有限公司，成立于2020年，位于合肥市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1456万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽万维克林精密装备有限公司参与招投标项目7次，财产线条，此外企业还拥有行政许可4个。
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