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欧姆龙成功事例单片清洗机中晶圆的平整检测方案

发布时间:2025-12-13

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  3、在特定清洗工艺中,因清洗剂成分具有光敏感性,无法直接使用光电传感器。

  ■光纤头E32-T12F配有氟树脂全涂层,实现耐腐蚀、防水的双重工业级防护。

  ■E3NX-FA可以在特定时间段内将LED光关闭,避免对清洗工艺产生影响。

  ■备有S-TUNE智能调谐设定,两键自动设定光量和阈值,减小对射光纤安装的同心度误差。

  若您对本产品感兴趣,欢迎扫码留下您的联系方式,欧姆龙工程师将尽快与您联络!

欧姆龙成功事例单片清洗机中晶圆的平整检测方案(图1)

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标签:清洗机
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