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上海积塔半导体取得一种湿法清洗机台传送装置专利能够杜绝晶圆载体侧翻隐患-尊龙凯时官方网站

上海积塔半导体取得一种湿法清洗机台传送装置专利能够杜绝晶圆载体侧翻隐患

发布时间:2025-06-11

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  金融界2025年5月5日消息,国家知识产权局信息显示,上海积塔半导体有限公司取得一项名为“一种湿法清洗机台的传送装置”的专利,授权公告号CN222813581U,申请日期为2024年6月。

  专利摘要显示,本申请提供一种湿法清洗机台的传送装置,包括抓取机构和移动机构,抓取机构包括第一抓取件和第二抓取件,第一抓取件和第二抓取件配合用于抓取目标物;移动机构包括第一方向移动组件、第二方向移动组件和第三方向移动组件,用于带动抓取机构沿第一方向、第二方向以及第三方向移动;沿第二方向,第三方向移动组件的两侧分别设置有检测机构,检测机构用于检测第一抓取件和/或第二抓取件是否沿第二方向偏移和/或倾斜。该湿法清洗机台的传送装置能够实时监测并确保抓取机构在第二方向保持在安全基准内,从而杜绝因抓取机构倾斜或偏移导致的晶圆载体侧翻的隐患,提高生产安全性和可靠性,提高生产效率。

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  天眼查资料显示,上海积塔半导体有限公司,成立于2017年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1690740.3918万人民币。通过天眼查大数据分析,上海积塔半导体有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目1793次,财产线条,此外企业还拥有行政许可191个。

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