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金融界2025年3月22日消息，国家知识产权局信息显示，浙江创芯集成电路有限公司申请一项名为“晶圆的清洁装置及清洁方法”的专利，公开号CN 119650472 A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请实施例提供一种晶圆的清洁装置及清洁方法，所述晶圆具有相对的第一面和第二面，所述第一面为待清洁的表面；所述清洁装置，包括：探测单元，用于探测所述晶圆的第一面上是否存在异物，以及确定所述异物在所述晶圆上的位置；清洁单元，用于清洗存在异物的所述晶圆的第一面；控制单元，根据所述位置，控制所述清洁单元定向去除所述异物。采用本申请实施例晶圆的清洁装置，可以提高生产效率。
天眼查资料显示，浙江创芯集成电路有限公司，成立于2020年，位于杭州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本182000万人民币，实缴资本134000万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江创芯集成电路有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目245次，财产线条，此外企业还拥有行政许可4个。
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