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　　金融界2024年11月23日消息，国家知识产权局信息显示，江苏亚电科技股份有限公司取得一项名为“一种单片晶圆清洗装置一体化晶圆支撑机构”的专利，授权公告号CN 222029064 U，申请日期为2023年12月。

　　专利摘要显示，本申请涉及一种单片晶圆清洗装置一体化晶圆支撑机构，需要将晶圆转入盘面上时，所述支撑柱旋转，使卡紧柱远离盘面的中心，机械手能够将晶圆放入支撑座上，之后，需要卡紧时，所述支撑柱旋转使卡紧柱靠近盘面的中心，晶圆的侧边缘抵住卡紧柱的内凹面，从而将晶圆卡住固定。本实施例中，将传统的水平顶杆和夹取机构合二为一，减少一套机械结构，使得安装和调整更加便捷。

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