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金融界2024年9月28日消息，国家知识产权局信息显示，江苏亚电科技股份有限公司取得一项名为“种适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘”的专利，授权公告号CN 221766742 U，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本申请涉及一种适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，由盘体、第一支撑杆和第二支撑杆、第一卡紧柱和第二卡紧柱组成；第一支撑杆和第二支撑杆分别对晶圆起支撑作用，而后再分别卡入第一卡紧柱和第二卡紧柱的凹陷部内起到最终固定作用。由于所述第一卡紧柱到盘体中心的距离大于第一支撑杆到盘体中心的距离且小于所述第二支撑杆到盘体中心的距离，所述第二卡紧柱到盘体中心的距离大于第二支撑杆到盘体中心的距离，且设置不同的高度，使得晶圆支撑盘能够匹配两种不同尺寸的晶圆。
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